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日本CANON ANELVA真空計M-320XG
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南京易鳴銷售日本CANON真空計、離子規(guī) 原裝正品 品質保證!
產(chǎn)品品牌：日本CANON
產(chǎn)品名稱：真空計、離子規(guī)
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具體規(guī)格型號如下所示：
M-320XG
特長:
広い測定範囲
大気圧から1×10-2Paまで、優(yōu)れた再現(xiàn)性で測定が可能
高い安全性
クリスタルゲージは、熱源（フィラメント）を持たない真空計
コンパクト、超軽量
コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g
※A-NET表示器 M‐39099M-391、M-320XG専用の表示器です。
※シングルチャンネル対応です。
用途:
各種真空裝置のあら引き圧力の測定
各種プロセスの圧力測定
チャンバーベント等の検出用圧力スイッチ
その他大気圧から10-2Pa臺迄の圧力測定
規(guī)格尺寸：
型 名 M-320XG
測定球 XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用）
測定圧力範囲 1×10-2Pa～大気圧
Gas種選択 N2、Ar、H2、Air
アナログ出力 DC 0-10V：デジットスイッチにより下記項目出力形式設定
（圧力信號） ①Log出力
②複合出力
③リニア出力 フルスケール圧力レンジ選択可能（1×101、1×102、1×103、1×104、1×105Pa）
リモートI/O INPUT ①ガス種設定 2bit信號で切換
②ゼロ點調(diào)整
③ATM設定
OUTPUT セットポイント出力2點
セットポイント 2點（フォトカプラ出力、ヒステリシス固定）
デジットスイッチにより設定（SP1、SP2共仮數(shù)部、指數(shù)部）
動作環(huán)境 5℃～50℃（コントローラー含む）
ゲージヘッドのみの耐熱溫度150℃MAX
ゼロ點調(diào)整 PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調(diào)整
フルスケール調(diào)整 トリマーボリュームによる調(diào)整
入出力コネクタ Dsub 15P
表示 LED 3ヶ（PWR／ALM 緑／赤の2色発光、SP1-Status 緑、SP2-Status 緑）
所要電力 DC 22V～33V、（最大消費電力2W）
外形寸法（mm） 72.5H×102W×44.5D（ゲージヘッド含まず）
質量 200g（ゲージヘッド含まず）
センサー取り付けフランジ NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等
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